國立臺灣師範大學 貴重儀器中心

多功能超高解析熱電子型場發射掃描式電子顯微鏡線上預約系統

多功能超高解析熱電子型場發射掃描式電子顯微鏡
負責教師
鄭淳護
儀器操作員

紀伯宇

semlab3699@gmail.com

02-77493699

中文名稱
多功能超高解析熱電子型場發射掃描式電子顯微鏡
英文名稱
Ultra High Resolution Thermal Field Emission Scanning Electron Microscope
英文簡稱
FE-SEM
儀器廠牌
JEOL Ltd. (日本)
購置年限
2017 年
重要規格
型號: JEOL JSM-7610F

1.加速電壓:0.1kV ~ 30kV

2.電子槍型式:Thermal Schottky Field Emission gun

3.放大倍率:x 25 ~ x 1000k

4.SEI 解析度:1.0 nm(at 15kV)、 1.3 nm(at 1kV)

5.自動功能:對焦、像差修正、明亮、對比。

6.樣品台 : X:70mm , Y:50mm , Z:1 - 40mm、傾斜角度: -5 ~ +70 度、旋轉角度:360度
endless(motor driven)、試片載台:12.5(dia.) x 10(H) mm、32.0(dia.) x 20(H) mm

7.主要附件:
a.EDS(化學元素定性、定量、影像分析)
b.真空濺鍍機(配置白金靶材)
服務項目
1.偵測二次電子影像 (SEI)

2.偵測原子序對比影像 (BEI)

3.化學元素定性、定量、影像分析 (EDS)
收費標準
計費項目計費單位計費數量計費單價
SEM/EDS 小時 1 校內人員: 700/小時
校外人員(學術): 700/小時
校外人員(產業): 700/小時
鍍白金 1 校內人員: 0/次
校外人員(學術): 0/次
校外人員(產業): 0/次
放置地點
國立臺灣師範大學圖書館校區-機械大樓1樓-TC105實驗室
申請需知
預約流程:
師大校內貴儀預約系統>熱電子型場發射掃描式電子顯微鏡>點選申請>填寫資料>上傳申請表(PDF)>
指導老師收到選確認信>請老師點選信中確認連結>完成系統預約>主動聯絡操作員預約時間

預約時間信箱:semlab3699@gmail.com

預約注意事項:
1. 僅開放委託代工。
2. 實際代工時間請寄信與儀器技術員確認。

試片製備注意事項:
1. 直徑需小於25 mm、高度需小於25 mm。
2. 若試片有以下情形者恕不接受代工:
a. 含有粉末、碎屑、液狀、膠狀物者。
b. 含有磁性、毒性、放射性、揮發物或成分不穩定者。
c. 不耐熱,且有熔融蒸發現象者。
d. 表面無法導電或導電性差者(有申請鍍白金除外)。
e. 高分子材料。